IH600

应用

l  负载锁定

l  转换

l  计量

l  平版印刷

l  PVD制程

l  PVD预清洁

l  RTA

l  剥离/灰化

l  刻蚀

l  植入源

l  HDP CVD

l  RTP

l  SACVD

l  MCVD

l  PECVD

l  LPCVD

l  ALD

功能与优势

l  优化了设施消耗

l  无需预防性维护

l  悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理

l  在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的CVD应用条件下的稳定性

l  耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体

l  较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证

l  轴杆一体化设计无需电机联轴器，第五抽排级免除对消音器的需求，也避免了颗粒堆积，两者均减少了总体占地空间

泵系列

实践证明，Edwards高级半导体真空泵能够达到最高运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的PECVD和LPCVD制程）提供了高可靠性。

·        iH80

·        iH160

·        iH600

·        iH1000

·        iH1800

·        iH1800HTX